微机电系统光开关可分为移动光纤式光开关、移动套管式光开关和移动透镜(包括反射镜、棱镜和自聚焦透镜)式光开关。表示l×Ⅳ移动光纤式光开关，它用电磁铁驱动活动臂移动，切换到不同的固定臂光纤一图3 19b表示1×2移动反射镜式光开关。
微机电系统(MEMs)光歼关巳成为DwDM(密集型光波复用)网中大容量光交换技术的主流，它是一种在半导体衬底材料E用传统的半导体工艺制造出可以前倾后仰、上下移动或旋转的微反射镜阵列，在驱动力的作用下，对输入光信号可切换到不同输出光纤的微机电系统。通常微反射镜的尺寸为140¨m×150¨m，驱动力可以利用热力效应、磁力效应和静电效应产生。这种器件的特点是体积小、消光比大、对偏振不敏感、成本低，其开关速度适中，插入损耗小于1 dB.
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